GD-100是一款依托100%自主知识产权实现全国产化替代的高精度气体检测仪器,专为半导体制造、TFT-LCD/AMOLED/LED芯片、光伏电池板生产场景设计,可精准监测生产过程中的特种气体浓度,兼具操作便捷性、数据可靠性与环境适应性,是高端制造场景下保障工艺稳定、环境安全的核心设备。
先进传感器技术,0.5秒内快速检测气体浓度变化,确保及时预警,为安全争取宝贵时间。
全金属外壳,EMC认证全面抗射频千扰。
检测精度高达±1%FS,最小检测浓度可至0.1ppm,满足各种高精度检测需求。
标准供电电源和通信功能包括三个板载继电器、4-20mA模拟输出和ModbusTCP/IP以太网输出,可轻松连接到控制和报警系统的端口。
100%自主知识产权。内置系统界面全新的中文界面,操作更加友善。
故障智能诊断,温度补偿技术和感器工作状态检查以改善探测器工作全可靠性
侦测器具备超大的色彩TFT显示,可更直观的显示气体种类、气体浓度、报警状态及故障信息
可通过以太网访问 PC/PDA 互联网浏览器的选项,可随时查看侦测器状态,报警记录,故障记录等。
可在0℃至40℃的室内温度环境内正常工作,可保证侦测器在不同环境下的检测稳定性。
使用可靠的传感器技术可检测超过40种以上主要的有毒、环境和易燃气体。提供预校准的传感器,开箱即插即用,快速安装轻松替换,节省现场测试时间。
精准监测半导体晶圆制造过程中的特种气体浓度,保障工艺稳定性。
适配TFT-LCD/AMOLED/LED芯片生产环境,实时监控气体泄漏风险。
保障光伏电池板生产过程中的气体环境安全,提升产品良率。
高强度铝合金材质,适配多种安装场景,安装便捷。
100%全国产化替代,全彩屏幕全中文系统,支持多种供电,通讯方式。
高精度传感器,响应速度快,测量精度高。
耐腐蚀金属材质,抗电磁干扰性更强。
| 传感器型号(Sensor) | 气体种类(Gas) | 测量范围(Range) |
|---|---|---|
| H2 | 氢气(H2) | 0 - 1000 ppm |
| O2 | 氧气(O2) | 0 - 25% v/v |
| CL2 | 氯气(CL2) | 0 - 2 ppm |
| F2 | 氟气(F2) | 0 - 4 ppm |
| NH3 | 氨气(NH3) | 0 - 100 ppm |
| PH3 | 磷化氢(PH3) | 0 - 1.2 ppm |
| ASH3 | 砷化氢(ASH3) | 0 - 0.2 ppm |
| SIH4 | 硅烷(SiH4) | 0 - 20 ppm |
| Si2H6 | 乙硅烷(Si2H6) | 0 - 20 ppm |
| NF3 | 三氟化氮(NF3) | 0 - 40 ppm |
| HFX | 氟化氢(HF) | 0 - 12 ppm |
| BF3 | 三氟化硼(BF3) | 0 - 8 ppm |
| WF6 | 六氟化钨(WF6) | 0 - 12 ppm |
| CIF3 | 三氟化氯(CIF3) | 0 - 12 ppm |
| HCI | 氯化氢(HCL) | 0 - 8 ppm |
| BCL3 | 三氯化硼(BCL3) | 0 - 8 ppm |
| H2SiC12 | 二氯硅烷(H2SiCl2) | 0 - 8 ppm |
| HBr | 溴化氢(HBr) | 0 - 8 ppm |
| TCS | 三氯氢硅(TCS) | 0 - 8 ppm |
| SICI4 | 四氯化硅(SiCl4) | 0 - 8 ppm |
| LEL | 氢气(H2) | 0 - 100% LEL |
| CH4 | 甲烷(CH4) | 0 - 100% LEL |
| C2H4 | 乙烯(C2H4) | 0 - 100% LEL |
| C3H6 | 丙烯(C3H6) | 0 - 100% LEL |
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