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产品详情

GD-100 高精度气体检测仪器

GD-100是一款依托100%自主知识产权实现全国产化替代的高精度气体检测仪器,专为半导体制造、TFT-LCD/AMOLED/LED芯片、光伏电池板生产场景设计,可精准监测生产过程中的特种气体浓度,兼具操作便捷性、数据可靠性与环境适应性,是高端制造场景下保障工艺稳定、环境安全的核心设备。

环境安全 精益制造 数据可靠 售后及时

产品特性

快速响应

先进传感器技术,0.5秒内快速检测气体浓度变化,确保及时预警,为安全争取宝贵时间。

抗电磁干扰

全金属外壳,EMC认证全面抗射频千扰。

高精度检测

检测精度高达±1%FS,最小检测浓度可至0.1ppm,满足各种高精度检测需求。

多种通讯方式

标准供电电源和通信功能包括三个板载继电器、4-20mA模拟输出和ModbusTCP/IP以太网输出,可轻松连接到控制和报警系统的端口。

全国产化替代

100%自主知识产权。内置系统界面全新的中文界面,操作更加友善。

气体侦测器产品图
GD-100 气体侦测器
适用于半导体、光伏及光电显示等多种场景

智能诊断

故障智能诊断,温度补偿技术和感器工作状态检查以改善探测器工作全可靠性

全彩屏幕

侦测器具备超大的色彩TFT显示,可更直观的显示气体种类、气体浓度、报警状态及故障信息

后台数据记录

可通过以太网访问 PC/PDA 互联网浏览器的选项,可随时查看侦测器状态,报警记录,故障记录等。

工作环境

可在0℃至40℃的室内温度环境内正常工作,可保证侦测器在不同环境下的检测稳定性。

多气体传感器

使用可靠的传感器技术可检测超过40种以上主要的有毒、环境和易燃气体。提供预校准的传感器,开箱即插即用,快速安装轻松替换,节省现场测试时间。

产品应用

半导体制造场景

半导体制造

精准监测半导体晶圆制造过程中的特种气体浓度,保障工艺稳定性。

TFT-LCD/AMOLED芯片生产

显示面板芯片生产

适配TFT-LCD/AMOLED/LED芯片生产环境,实时监控气体泄漏风险。

光伏电池板生产

光伏电池板生产

保障光伏电池板生产过程中的气体环境安全,提升产品良率。

产品结构

安装支架

安装支架

高强度铝合金材质,适配多种安装场景,安装便捷。

主机架

主机架

100%全国产化替代,全彩屏幕全中文系统,支持多种供电,通讯方式。

传感器

传感器

高精度传感器,响应速度快,测量精度高。

机壳

机壳

耐腐蚀金属材质,抗电磁干扰性更强。

技术参数

GD-100 核心技术参数

  • 尺寸 130×68×150mm
  • 重量 1.2kg
  • 检测气体 SiH4、NH3、PH3、WF6等
  • 测量范围 各气体不同:详见气体种类表
  • 测量精度 ±1%FS
  • 响应时间 ≤3秒
  • 工作电压 DC 24V±10%
  • 输出信号 4-20mA/RS485/Modbus
  • 功耗 ≤5W
  • 工作温度 0℃~40℃
  • 校准周期 6个月
  • 质保 传感器2年,主机1年
  • 安装方式 壁挂式
  • 外壳材质 金属

传感器支持的气体种类表

传感器型号(Sensor) 气体种类(Gas) 测量范围(Range)
H2 氢气(H2) 0 - 1000 ppm
O2 氧气(O2) 0 - 25% v/v
CL2 氯气(CL2) 0 - 2 ppm
F2 氟气(F2) 0 - 4 ppm
NH3 氨气(NH3) 0 - 100 ppm
PH3 磷化氢(PH3) 0 - 1.2 ppm
ASH3 砷化氢(ASH3) 0 - 0.2 ppm
SIH4 硅烷(SiH4) 0 - 20 ppm
Si2H6 乙硅烷(Si2H6) 0 - 20 ppm
NF3 三氟化氮(NF3) 0 - 40 ppm
HFX 氟化氢(HF) 0 - 12 ppm
BF3 三氟化硼(BF3) 0 - 8 ppm
WF6 六氟化钨(WF6) 0 - 12 ppm
CIF3 三氟化氯(CIF3) 0 - 12 ppm
HCI 氯化氢(HCL) 0 - 8 ppm
BCL3 三氯化硼(BCL3) 0 - 8 ppm
H2SiC12 二氯硅烷(H2SiCl2) 0 - 8 ppm
HBr 溴化氢(HBr) 0 - 8 ppm
TCS 三氯氢硅(TCS) 0 - 8 ppm
SICI4 四氯化硅(SiCl4) 0 - 8 ppm
LEL 氢气(H2) 0 - 100% LEL
CH4 甲烷(CH4) 0 - 100% LEL
C2H4 乙烯(C2H4) 0 - 100% LEL
C3H6 丙烯(C3H6) 0 - 100% LEL

荣誉资质

质量管理体系认证证书

质量管理体系认证证书

环境管理体系认证证书

环境管理体系认证证书

合作伙伴

华虹宏力

华虹宏力

长江存储

长江存储

士兰微电子

士兰微电子

上海华力

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三安光电

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聚灿光电

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京东方华灿

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京东方

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嘉兴斯达微

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芯粤能

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